DLC，TiN薄膜的环境摩擦学特性研究

作者: 祝闻 ; 聂朝胤 ; 冉春华 ; 金义栋 ; 赵洋

关键词: 非平衡磁控溅射电弧离子镀 DLC薄膜 TiN薄膜摩擦学特性

摘要：采用非平衡磁控溅射及电弧离子镀技术在304奥氏体不锈钢表面沉积了类金刚石（DLC）及TiN薄膜．用纳米压痕仪、表面粗糙度仪、扫描电镜等检测了薄膜的显微硬度、表面粗糙度及表面形貌．并用球～盘式摩擦磨损试验仪评价了不同介质（干摩擦、水润滑、油润滑）条件下薄膜的摩擦磨损性能．结果表明：在干摩擦及水润滑条件下，TiN，DLC两种薄膜均明显改善了基体的耐磨性和润滑性，DLC薄膜性能更佳．但相对于干摩擦，在水润滑条件下，DLC薄膜的摩擦系数反而有所升高，这主要源于H2O与O2在摩擦过程中参与反应，降低了薄膜的力学性能和化学惰性从而增加了粘着效应．在油润滑条件下，DLC，TiN薄膜与基体摩擦系数相近甚至略高，薄膜的沉积虽然有利于基体耐磨性能的提高，但并不能改善基体的润滑特性．

上一篇：土壤施硒对水稻根表铁膜形成和汞吸收的影响
下一篇：全氟辛烷磺酸高灵敏共振光散射分析测定

DLC，TiN薄膜的环境摩擦学特性研究

作者: 祝闻 ; 聂朝胤 ; 冉春华 ; 金义栋 ; 赵洋

关键词: 非平衡磁控溅射 电弧离子镀 DLC薄膜 TiN薄膜 摩擦学特性

关键词: 非平衡磁控溅射电弧离子镀 DLC薄膜 TiN薄膜摩擦学特性